全自動探針臺是一種用于測試芯片性能的設(shè)備,其工作原理主要涉及到力學、電學和光學等多個方面。
下面將詳細介紹全自動探針臺的工作原理。
1、需要將待測芯片放置在精密加工的平面上,這個平面具有很高的平整度,可以提供精確定位和精確探針接觸的工作平臺。在這個平臺上,探針與芯片的接觸點相對應,以便進行電性能測試。
2、通過精密運動控制器控制探針的位置和運動軌跡。運動控制器能夠精確地控制探針穿過芯片上精微的引腳,確保探針與引腳的穩(wěn)定接觸。在這個過程中,探針需要根據(jù)預定的路徑進行精確移動,以避免在測試過程中出現(xiàn)誤差。
3、還需要利用探針將特定的電信號輸入芯片引腳中,然后讀取和分析輸出的電信號。這些電信號的傳輸和測量是核心功能之一。通過測量輸入和輸出信號的變化,可以獲取芯片的性能參數(shù),如電壓、電流、電阻等。
4、還需要考慮光學方面的問題。在一些測試中,需要利用光學儀器對芯片進行觀察和測量,例如測量芯片的尺寸、觀察芯片的表面形貌等。這些光學測量方法通常需要配合電學測試一起使用,以確保測試結(jié)果的準確性和可靠性。
5、將測試數(shù)據(jù)傳輸給數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)進行分析和處理。數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)可以對測試數(shù)據(jù)進行統(tǒng)計分析、誤差修正和性能評估等操作,為進一步的研究和開發(fā)提供依據(jù)。
全自動探針臺的工作原理涉及到多個學科領(lǐng)域的知識和技術(shù),包括力學、電學、光學和數(shù)據(jù)處理等。通過將這些技術(shù)綜合應用,能夠?qū)崿F(xiàn)對芯片性能的高效、準確測試和分析,為半導體產(chǎn)業(yè)的發(fā)展提供重要的技術(shù)支持。